這過程中，大致分為兩個主要階段：

（1）從溶液霧化至蒸發為分子蒸氣的過程。主要依賴于霧化器的性能、霧滴大小、溶液性質、火焰溫度和溶液的濃度等。 

（2）從分子蒸氣至解離成基態原子的過程。主要依賴于被測物形成分子們鍵能，同時還與火焰的溫度及氣份相關。分子的離解能越低，對離解越有利，就原子吸收光譜分析而言，解高能小于3．5eV的分子，容易被解離，當大于5eV時，解離就比較困難。

 

2、石墨爐原子化

樣品置于石墨管內，用大電流通過石墨管，產生3000℃以下的高溫，使樣品蒸發和原子化。為了阻止石墨管在高溫氧化，在石墨管內、外部用惰性氣體保護。石置爐加溫階段一般可分為：

(1)干燥。此階段是將溶劑蒸發掉，加熱的溫度控制在溶劑的沸點左右，但應避免暴沸和發生濺射，否則會嚴重影響分析精度和靈敏度。 

(2)灰化。這是比較重要的加熱階段。其目的是在保證被鍘元素沒有明顯損失的前提下，將樣品加熱到盡可能高的溫度，破壞或蒸發掉基體，減少原子化階段可能遇到的元素間干擾，以及光散射或分子吸收引起的背景吸收，同時使被鍘院素變為氧化物或其他類型物。

(3)原子化。在高溫下，把被測元素的氧化物或其它類型物熱解和還原（主要的）成自由原子蒸氣。 

 

3、氫化物發生法

在酸性介質中，以硼氫化鉀（KBH4）作為還原劑，使鍺、錫、鉛、砷、銻、秘、硒和儲還原生成共價分于型氫化物的氣體，然后將這種氣體引人火焰或加熱的石英管中，進行原子化。
AsCl3+4KBH4+HCl+8H2O=AsH3+4KCl+4HBO2+13H2