原子吸收光譜分析（又稱原子吸收分光光度分析）是基于從光源輻射出待測元素的特征光波，通過樣品的蒸汽時，被蒸汽中待測元素的基態原子所吸收，由輻射光波強度減弱的程度，可以求出樣品中待測元素的含量。

目前，市場上常見的原子吸收光譜儀有火焰式、石墨爐式、氫化式、冷蒸汽式等四類。
 

1、火焰式原子吸收光譜法( FLAA）

 直接將樣品導入儀器進行偵測。其不同于感應耦合電漿原子發射光譜法者，為只能進行單一元素的檢測，及較不會受到元素間光譜線的干擾。笑氣/乙炔或空氣/乙炔火焰系作為將吸入的樣品解離的能源，使樣品變成自由的原子態，而可吸收待測原子的特定光線，分析某些元素時，所使用的溫度或火焰的形式極重要，若未使用適當的火焰及分析條件，則化學和離子化的干擾就會產生。

 

2、石墨爐式原子吸收光譜法( GFAA）

此法系以電熱式石墨爐取代火焰作為熱源，石墨爐可分數個加熱程序對樣品進行漸進式的加熱，因此，針對樣品溶液中的有機、無機分子和鹽類的溶劑之蒸發、干燥、分解及最后形成原子的過程，在火焰式原子吸收光譜法或感應耦合電漿原子發射光譜法中，于數個毫秒內即完成，但在石墨爐中則可于所設定的溫度及時間區間中，用足夠的時間進行之，且可利用升溫程序或基質修飾劑，去除待測物樣品中不需要的基質成份，以減少干擾。

本方法的優點是可提供極低的偵測極限，若樣品相當干凈，則極易使用本方法執行樣品檢測。由于本方法極靈敏，因此，干擾問題較嚴重，針對基質復雜的樣品，如何找到最佳的消化方法，加熱溫度和加熱時間及基質修飾劑是一大挑戰。

 

3、氫化式原子吸收光譜法( HGAA）

利用選擇性的化學還原反應，將樣品消化液中的砷或硒還原成氫化物而予分離，因此本方法的優點是能將此二種元素從復雜的樣品中分離出來，而無其它分析方法可能遭遇的干擾問題。報告指出，在下列情況下會有嚴重的干擾問題：

(1)有銅、銀、汞等易還原的金屬存在時；

(2)有大于200mg/L之高濃度過渡元素存在時，

(3)樣品消化液中有氧化劑(氮氧化物)存在時。

 

4、冷蒸氣原子吸收光譜法( CVAA ）

是利用選擇性的化學還原反應，只將樣品消化液中的汞還原。本方法對汞的分析極靈敏，但會受樣品中揮發性有機物、氯、和硫化物的干擾。